直線電機技術已廣泛應用于半導體行業(yè)高端運動控制系統(tǒng)中。針對亞微米級精度、納米級位置穩(wěn)定性的超高精密工況，對設備零部件精度、結構設計均有著嚴苛要求，任一部件的瑕疵，都會影響設備整體運行性能。

 依托完善的零部件配置與成熟的機械結構設計方案，可搭建高穩(wěn)定性、高精度的成套運動系統(tǒng)平臺，適配半導體高端生產場景。晶圓檢測設備對加工精度與生產效率要求嚴苛，LSM直線電機憑借自身獨特的性能優(yōu)勢，可匹配半導體高科技行業(yè)的嚴苛使用標準，搭配精密零部件組成的機械運動系統(tǒng)，能夠實現(xiàn)優(yōu)異的精密運行性能。

 在貼片機等微電子設備領域，無損檢測（NDT）是保障產品功能與使用可靠性的核心工序。在線檢測環(huán)節(jié)對運行速度、定位精度要求較高，可有效規(guī)避質量檢測工序影響整條生產線產能的問題。

 針對無源器件、復雜IC等不同品類產品，行業(yè)可適配光學檢測、X射線檢測、超聲波檢測等多樣化檢測技術。搭載直線電機技術的成套運動系統(tǒng)，能夠為檢測設備提供高精度運動支撐，助力設備提升檢測效率與生產產能。

 精密檢測設備想要實現(xiàn)優(yōu)異運行性能，需要移動運動平臺與檢測系統(tǒng)精準同步協(xié)作。HANS可提供成套運動平臺系統(tǒng)與運動控制單元，滿足檢測設備核心運動技術要求。設備廠商可聚焦檢測算法、缺陷識別軟件等核心技術研發(fā)，同時依托高精度直線電機運動系統(tǒng)，保障晶圓檢測、器件檢測設備的精度、重復性與生產效率。